特許権 リソグラフィー用重合体の製造方法、レジスト組成物の製造方法、およびパターンが形成された基板の製造方法 三菱レイヨン株式会社 安田 敦, 押切 友也 出願番号 特願2011-138301 出願日 2011年6月22日 公開番号 特開2013-006888 公開日 2013年1月10日 特許番号/登録番号 特許第5821317号 登録日 2015年10月16日 発行日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201303090230047429 ID情報 J-Global ID : 201303090230047429
