2022年10月24日
Self-aligned photolithography using backside exposure through metal patterns on β-Ga2O3 substrates
4th International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials
- 開催年月日
- 2022年10月23日 - 2022年10月27日
- 記述言語
- 英語
- 会議種別
- ポスター発表
- 開催地
- Nagano
- 国・地域
- 日本