特許権 化合物膜の剥離除去方法 渡部 創 渡部 創, 中原 将海, 木村 修也, 森口 哲次*, 佐々木 美咲*, 稲垣 博光*, 池堂 和仁* 出願番号 2021-015059 出願日 2021年2月2日 公開番号 2022-118491 公開日 2022年8月15日 リンク情報 URLhttps://jopss.jaea.go.jp/search/servlet/search?P52460