論文

査読有り
2019年3月

Effects of N-2 and NH3 plasma exposure on the surface topography of p-GaN under quasi-atmospheric pressure

SURFACES AND INTERFACES
  • Kumagai Naoto
    • ,
  • Itagaki Hirotomo
    • ,
  • Kim Jaeho
    • ,
  • Ogiso Hisato
    • ,
  • Wang Xue-lun
    • ,
  • Hirose Shingo
    • ,
  • Sakakita Hajime
巻
14
号
開始ページ
92
終了ページ
97
DOI
10.1016/j.surfin.2018.12.001
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1016/j.surfin.2018.12.001
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000459836200013&DestApp=WOS_CPL
ID情報
  • DOI : 10.1016/j.surfin.2018.12.001
  • ISSN : 2468-0230
  • Web of Science ID : WOS:000459836200013
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