MISC

2016年9月7日

スパッタ法による不揮発性メモリ用高配向相変化材料薄膜の成膜技術の開発

日本金属学会講演概要(CD-ROM)

齊藤雄太
宮田典幸
FONS Paul
KOLOBOV Alexander V
富永淳二

巻: 159th
号
開始ページ: ROMBUNNO.S3.20
終了ページ
記述言語: 日本語
掲載種別

リンク情報

J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201602243974663353
URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/201602243974663353

ID情報

ISSN : 1342-5730
J-Global ID : 201602243974663353

エクスポート: BibTeX RIS

MISCリストへ