イオン照射により原子炉圧力容器鋼(A533B)に生じる微細構造変化を、X線吸収微細構造(XAFS)により評価した。照射によりクラスターを形成する元素であるCu, Ni, Mnに着目して照射前後の当該原子周辺の微細構造を分析した結果、Cu及びNiに対して照射による配位数の減少が認められ、当該原子近傍に空孔欠陥が生成したものと考えられた。配位数の変化が特に顕著であったCuに着目し、空孔型欠陥や格子間原子などを模擬した結晶構造モデルを作成するとともに、作成した結晶構造モデルを用いて理論値と実験値の比較を行い、照射により生成する欠陥形状を推定した。