明田川 正人

超高速計測可能な軸受不要誤差５自由度誤差計測装置の開発 高速回転に対応可能な軸受誤差測定装置を開発する。

半導体レーザの周波数変調による測長干渉計の開発 半導体レーザの周波数変調を用いたもホモダイン測長干渉計を開発する。

レーザーによる測長ー周波数変調によるホモダイン干渉計の実現 真直度測定システムに半導体レーザの周波数変調を用いたもホモダイン干渉計の機能を付加する。

変調レーザを用いた測長法の開発―軸受不要５自由度誤差運動一括測定装置への応用 半導体レーザの周波数を正弦波状に変調し、復調する。復調信号に含まれる２個の位相が９０度異なる変位信号を用いた高精度な測長法の開発を行う。ここで得られる変調復調技術を超精密軸受の不要５自由度誤差運動の一括同時測定装置へ応用する。