安間守 (Mamoru Anma) - マイポータル - researchmap

基本情報

J-GLOBAL ID: 200901036133901356
researchmap会員ID: 0000000729

外部リンク: http://www.s-iri.pref.shizuoka.jp/

経歴

1

静岡県工業技術研究所先導技術部, 先導技術部長

MISC

2

フォトリソグラフィによるSiウエハ上へのパターニング

静岡県静岡工業技術センター研究報告 (45) 11-16 2000年
マイクロマシン技術の研究開発動向

静岡県静岡工業技術センター研究報告 (44) 17-20 1999年

所属学協会

1

表面技術協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

2

‐
-