特許権 傾斜ターゲット方マグネトロンスパッタ装置 岩坪 聡, 高橋 隆一 出願番号 特願8-231375 出願日 公開番号 特開10-60641 公開日 特許番号/登録番号 特許3893436 登録日 発行日 出願番号8-231375、公告番号10-60641
