2003年 - 2004年
多自由度ステージ機構の開発研究
補助金
- 資金種別
- 競争的資金
従来の3自由度(X-Y-Z)ステージ機構と同等以下の大きさ、価格で、多軸微細作業ステージ(X、Y、Z、PTCH、ROLL、YAW)を実現することを目標とし、パラレルメカニズムを用いた小型6自由度ステージのプロトタイプを製作し、デジタルマイクロスコープを用いた観察実験による評価を行い、実用上非常に有望であることを確認した.