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黒河内 靖子
クロゴウチ ヤスコ (Yasuko Kurogouchi)
更新日: 2011/12/22
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研究キーワード
研究分野
共同研究・競争的資金等の研究課題
基本情報
所属
長野県工業技術総合センター
精密・電子技術部門 化学部 主任研究員
J-GLOBAL ID
200901032956542496
researchmap会員ID
0000011162
研究キーワード
4
走査型電子顕微鏡
金属薄膜
Scanning electron microscopy
Metallic thin film
研究分野
1
ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器 /
共同研究・競争的資金等の研究課題
2
MEMS技術による運動センサの開発
2005年
超精密マイクロ加工機による回折格子作製技術の開発と形状評価
2002年 - 2004年
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