本保栄治 (Eiji Honbo) - マイポータル

基本情報

所属: 富山県産業技術研究開発センターものづくり研究開発センターものづくり基盤技術課課長

学位: 理学修士(新潟大学)
博士（工学）(富山県立大学)

J-GLOBAL ID: 200901003931892107
researchmap会員ID: 0000036636

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2021年 - 現在

富山県産業技術研究開発センターものづくり研究開発センター

論文

Influence of target material on the microstructure and properties of Ti-Si-N coatings prepared by r.f.-reactive sputtering

M Nose, Y Deguchi, E Honbo, WA Chiou, T Mae, K Nogi

MATERIALS TRANSACTIONS 46(8) 1911-1917 2005年8月
Properties of Ti-Al-Si-N nano-composite films prepared by reactive sputtering

Masateru Nose, Hirofumi Suzuki, Yoshio Okumura, Eiji Honbo, Takehiko Mae, Hiroshi Anada, Kiyoshi Nogi

Funtai Oyobi Fummatsu Yakin/Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy 51(11) 808-814 2004年
反応性スパッタ法によるTi-Al-Si-Nナノコンポジット膜の作製

野瀬正照, 鈴木宏章, 奥村善雄, 本保栄治, 前健彦, 穴田博, 野城清

粉体および粉末冶金 51(11) 802-807 2004年
Influence of sputtering conditions on the structure and properties of Ti-Si-N thin films prepared by r.f.-reactive sputtering

M Nose, Y Deguchi, T Mae, E Honbo, T Nagae, K Nogi

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 174 261-265 2003年9月
Structure and properties of Cr–B, Cr–B–N and multilayer Cr–B/Cr–B–N thin films prepared by r.f.-sputtering

Y.Sakamaoto, M.Nose, T.Mae, E.Honbo, M.Zhou, K.Nogi

Surface and Coatings Technology 174-175 444-449 2003年5月査読有り
Preparation of TiO2 thin films by sputtering applying electron cyclotron resonance plasma produced in arched magnetic mirrors

E Honbo, M Miyata, T Ueno, Y Kato, S Ishii

VACUUM 66(3-4) 263-267 2002年8月
Application of electron cyclotron resonance plasma in arched magnetic mirrors to deposition of TiO2 thin films

E Honbo, M Miyata, Y Kato, S Ishii

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 73(2) 843-845 2002年2月
Colorimetric properties of ZrN and TiN coatings prepared by DC reactive sputtering

M Nose, M Zhou, E Honbo, M Yokota, S Saji

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 142 211-217 2001年7月
電子サイクロトロン共鳴プラズマ中反応性スパッタリングによるTiO2薄膜形成におけるイオン照射効果

杉原真次, 本保栄治, 加藤裕史, 石井成行

J.Vac.Soc.Jpn.（真空） 44(7) 661-666 2001年

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

ナノコンポジット複合機能膜の形成機構解明とそれを応用した金属加工の新しい展開

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2005年 - 2007年

野瀬正照, 野城清, 池野進, 長柄毅一, 本保栄治, 横田勝
プラズマによる機能性薄膜

共同研究 2000年 - 2003年
薄膜の光学的応用
Thin film deposition by plasma process
Optical applications of thin film

本保栄治

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