本保栄治 (Eiji Honbo) - マイポータル - researchmap

基本情報

所属: 富山県産業技術研究開発センターものづくり研究開発センターものづくり基盤技術課課長

学位: 理学修士(新潟大学)
博士（工学）(富山県立大学)

J-GLOBAL ID: 200901003931892107
researchmap会員ID: 0000036636

研究キーワード

5

研究分野

3

経歴

1

2021年 - 現在

富山県産業技術研究開発センターものづくり研究開発センター

論文

8

Influence of target material on the microstructure and properties of Ti-Si-N coatings prepared by r.f.-reactive sputtering

M Nose, Y Deguchi, E Honbo, WA Chiou, T Mae, K Nogi

MATERIALS TRANSACTIONS 46(8) 1911-1917 2005年8月
反応性スパッタ法によるTi-Al-Si-Nナノコンポジット膜の作製

野瀬正照, 鈴木宏章, 奥村善雄, 本保栄治, 前健彦, 穴田博, 野城清

粉体および粉末冶金 51(11) 802-807 2004年
Influence of sputtering conditions on the structure and properties of Ti-Si-N thin films prepared by r.f.-reactive sputtering

M Nose, Y Deguchi, T Mae, E Honbo, T Nagae, K Nogi

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 174 261-265 2003年9月
Structure and properties of Cr–B, Cr–B–N and multilayer Cr–B/Cr–B–N thin films prepared by r.f.-sputtering

Y.Sakamaoto, M.Nose, T.Mae, E.Honbo, M.Zhou, K.Nogi

Surface and Coatings Technology 174-175 444-449 2003年5月査読有り
Preparation of TiO2 thin films by sputtering applying electron cyclotron resonance plasma produced in arched magnetic mirrors

E Honbo, M Miyata, T Ueno, Y Kato, S Ishii

VACUUM 66(3-4) 263-267 2002年8月
Application of electron cyclotron resonance plasma in arched magnetic mirrors to deposition of TiO2 thin films

E Honbo, M Miyata, Y Kato, S Ishii

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 73(2) 843-845 2002年2月
Colorimetric properties of ZrN and TiN coatings prepared by DC reactive sputtering

M Nose, M Zhou, E Honbo, M Yokota, S Saji

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 142 211-217 2001年7月
電子サイクロトロン共鳴プラズマ中反応性スパッタリングによるTiO2薄膜形成におけるイオン照射効果

杉原真次, 本保栄治, 加藤裕史, 石井成行

J.Vac.Soc.Jpn.（真空） 44(7) 661-666 2001年

所属学協会

2

共同研究・競争的資金等の研究課題

4