特許権 イオンビームによる表面処理方法及びその装置 工業技術院長 木野村 淳, 堀野 裕治, 杢野 由明, 茶谷原 昭義, 坪内 信輝, 藤井 兼栄 出願番号 特願平7-205332 出願日 1995年7月18日 公開番号 特開平9-031631 公開日 1997年2月4日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903015101827685URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/200903015101827685 ID情報 J-Global ID : 200903015101827685