産業財産権

特許権

イオンビームによる表面処理方法及びその装置

工業技術院長

木野村淳
堀野裕治
杢野由明
茶谷原昭義
坪内信輝
藤井兼栄

出願番号: 特願平7-205332
出願日: 1995年7月18日
公開番号: 特開平9-031631
公開日: 1997年2月4日
特許番号/登録番号: 特許第2992626号
登録日
発行日: 1999年10月22日

リンク情報

J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201103054847290460
URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/201103054847290460

ID情報

J-Global ID : 201103054847290460

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