2004年3月28日 多結晶Si中に水素イオン注入で形成したナノキャブィティへのCuゲッタリング 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 木野村淳, 堀野裕治, 中野幸広, WILLIAMS J S 記述言語 日本語 会議種別
