論文

査読有り
1990年1月

RBS TOMOGRAPHY OF SOI STRUCTURES USING A MEV ION MICROPROBE

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
  • A KINOMURA
    • ,
  • M TAKAI
    • ,
  • S NAMBA
    • ,
  • M SATOU
    • ,
  • A CHAYAHARA
巻
45
号
1-4
開始ページ
523
終了ページ
526
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
DOI
10.1016/0168-583X(90)90891-W
出版者・発行元
ELSEVIER SCIENCE BV
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1016/0168-583X(90)90891-W
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:A1990CM79200122&DestApp=WOS_CPL
ID情報
  • DOI : 10.1016/0168-583X(90)90891-W
  • ISSN : 0168-583X
  • Web of Science ID : WOS:A1990CM79200122
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