酸化物ナノ粒子の形成法として我々が提案した「イオン注入熱酸化法」の基礎過程と、本手法で形成したZnO、NiO、CuO、Cu2Oナノ粒子の特性について、我々の成果を中心にまとめた。これが「イオン注入熱酸化法」についてまとめて書かれた世界初のものである。