権太 聡
ゴンダ サトシ (Satoshi Gonda)
更新日: 2024/12/18
基本情報
- 所属
- 独立行政法人産業技術総合研究所 次世代半導体研究センター リソグラフィ・マスク計測グループ 主任研究員
- 学位
-
工学博士
- J-GLOBAL ID
- 200901088467864362
- researchmap会員ID
- 0000044367
- 外部リンク
MISC
11-
Measurement Science and Technology 10(11) 986-993 1999年
-
Applied Surface Science 144-145 505-509 1999年
-
Jpn. J. Appl. Phys. Vol.37 (1998) L1418 37(11) L1418-L1420 1998年11月15日
-
Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters 37(11) L1418-L1420 1998年11月15日
-
Journal of Physics and Chemistry of Solids 56(12) 1877-1878 1995年12月
-
Physica C Vol.216, (1993) 160
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Proc. Mater. Res. Soc. Symp.Vol.349 (1994) 325
-
Rev. Sci. Instrum. Vol.70, (1999) 3362
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Physica C Vol.216, (1993) 160
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Proc. Mater. Res. Soc. Symp.Vol.349 (1994) 325
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Rev. Sci. Instrum. Vol.70, (1999) 3362