MISC

2002年

The effect of the species of sputtering gas on the composition of multi component glass film: a new approach to control the composition of multi-component glass film.

J MATER SCI LETT
  • AKAI T
  • ,
  • YAMANAKA H

21
10
開始ページ
765
終了ページ
766
DOI
10.1023/A:1015793507762

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1023/A:1015793507762
CiNii Articles
http://ci.nii.ac.jp/naid/80015416981
ID情報
  • DOI : 10.1023/A:1015793507762
  • ISSN : 0261-8028
  • CiNii Articles ID : 80015416981
  • identifiers.cinii_nr_id : 9000239248799

エクスポート
BibTeX RIS