芦田極 (Kiwamu Ashida) - マイポータル - researchmap

基本情報

所属: 独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ加工システム研究グループ

学位: 博士(工学)

J-GLOBAL ID: 200901026529290753
researchmap会員ID: 0000050537

外部リンク: http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=K11683998

研究キーワード

5

研究分野

1

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学 /

学歴

2

MISC

18

Nanomachining of silicon surface using atomic force microscope with diamond tip

Noritaka Kawasegi, Noboru Takano, Daisuke Oka, Noboru Morita, Shigeru Yamada, Kazutaka Kanda, Shigeto Takano, Tsutomu Obata, Kiwamu Ashida

JOURNAL OF MANUFACTURING SCIENCE AND ENGINEERING-TRANSACTIONS OF THE ASME 128(3) 723-729 2006年8月
Three-dimensional nanofabricalion utilizing selective etching of silicon induced by focused ion beam irradiation

Noritaka Kawasegi, Noboru Morita, Shigeru Yamada, Noboru Takano, Tatsuo Oyama, Kiwatnu Ashida, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto

JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES C-MECHANICAL SYSTEMS MACHINE ELEMENTS AND MANUFACTURING 49(2) 583-589 2006年6月
シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用（第2報）－任意切れ刃を持った加工用カンチレバーの作製－

精密工学会誌 72(8) 1025-1029 2006年
Nanoscale fabrication in aqueous KOH solution using tribo-nanolithography

N Kawasegi, JW Park, N Morita, S Yamada, N Takano, T Oyama, K Ashida

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 23(6) 2471-2475 2005年11月
Etch stop of silicon surface induced by tribo-nanolithography

N Kawasegi, N Morita, S Yamada, N Takano, T Oyama, K Ashida

NANOTECHNOLOGY 16(8) 1411-1414 2005年8月
ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成（第5報，マスク層の加工条件依存性）

川堰宣隆, 森田昇, 山田茂, 高野登, 大山達雄, 芦田極

日本機械学会論文集Ｃ編 71(706) 2041-2046 2005年
ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成（第4報，マスキング作用のメカニズム）

川堰宣隆, 森田昇, 山田茂, 高野登, 大山達雄, 芦田極

日本機械学会論文集Ｃ編 71(706) 2035-2040 2005年
ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成（第3報，エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元微細構造形成への応用）

川堰宣隆, 森田昇, 山田茂, 高野登, 大山達雄, 芦田極, 谷口淳, 宮本岩男

日本機械学会論文集Ｃ編 71(705) 1754-1759 2005年
Microfactory - Concept, history, and developments

Y Okazaki, N Mishima, K Ashida

JOURNAL OF MANUFACTURING SCIENCE AND ENGINEERING-TRANSACTIONS OF THE ASME 126(4) 837-844 2004年11月
ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション（第2報）－マスキング作用の加工条件依存性と３次元微細構造への応用－

精密工学会誌 70(12) 1544-1548 2004年
トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した単結晶シリコンのマイクロファブリケーション－微細構造の高精細化に関する検討－

砥粒加工学会誌 48(8) 456-461 2004年
ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成（第2報，集束イオンビーム照射を利用した3次元微細構造形成の可能性）

川堰宣隆, 柴田浩一, 森田昇, 芦田極, 谷口淳, 宮本岩男

日本機会学会論文集（C編） 70(696) 2541-2547 2004年
ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成（第1報，摩擦力顕微鏡機構を利用した3次元微細構造形成の可能性）

川堰宣隆, 森田昇, 山田茂, 高野登, 大山達雄, 芦田極

日本機会学会論文集（C編） 70(696) 2533-2540 2004年
球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成

平井聖児, 鈴木庸介, 森田昇, 芦田極

精密工学会誌 69(7) 960-964 2003年
マイクロファクトリと小型工作機械の概念設計

三島望, 芦田極, 前川仁, 谷川民生, 田中誠

精密工学会誌 68(4) 586-590 2002年
ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション

陳利益, 森田昇, 芦田極

精密工学会誌 67(9) 1453-1457 2001年
原子間力顕微鏡一体型加工評価装置の開発(加工用カンチレバーの開発)

砥粒加工学会誌(1997), 41(7), 276-281
光てこ式AFMを用いた表面粗さ測定における誤差因子

日本機械学会論文集(C編),(1996), 62(603), 4415-4422

所属学協会

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