2011年7月
Ultra Precise Positioning of a Stage Driven by Pneumatic Bellows
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- 巻
- 5
- 号
- 4
- 開始ページ
- 508-515
- 終了ページ
- 515
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.20965/ijat.2011.p0508
- ID情報
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- DOI : 10.20965/ijat.2011.p0508
- ISSN : 1881-7629
- SCOPUS ID : 84856197081