特許権 薄膜太陽電池用三次元微細構造パターン基板と薄膜太陽電池 新倉 ちさと, 小長井 誠 出願番号 特願2014-235865 出願日 2014年11月20日 特許番号/登録番号 特許第6415942 登録日 発行日 2018年10月12日
