2019年1月
Position measurement and control of a thin and compact linear switched reluctance motor with a disposable-film mover
Sensor and Actuators A: Physical
- ,
- ,
- 巻
- 285
- 号
- 1
- 開始ページ
- 80
- 終了ページ
- 88
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- リンク情報
-
- 共同研究・競争的資金等の研究課題
- 微小物の追加工・組立・検査を容易にするための，フィルム状可動子をもつ極薄並進ステージシステム