2016年9月14日
液相PLA法を用いたCaIn2O4の微粒子、薄膜化および評価
第77回応用物理学会秋季学術講演会
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- 記述言語
- 日本語
- 会議種別
- 口頭発表(一般)
CaIn2O4焼結体を水中でレーザー波長を266nmと355nmと変化させPLA法により微粒子/薄膜を作製し、XRD、XPSによる評価を行った。355nm、高フルエンスで作製した際にCa/Inの元素比が1となる薄膜が得られた。得られた薄膜は可視光での有機物分解に不活性であった。