特許権
プラズマ処理装置
新井宏之、東京エレクトロン㈱
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- 出願番号
- 2000-137794
- 出願日
- 2000年5月10日
- 特許番号/登録番号
- 4263338
- 登録日
- 発行日
- 2009年2月20日
トリプレート線路に構成されたスロットアレイによるプラズマ処理用アンテナ
新井 宏之
アライ ヒロユキ (Hiroyuki Arai)
更新日: 02/04