MISC

2003年

干渉計におけるフィードバック制御を用いたロバストなセンシング技術

精密工学会誌

佐々木修己
鈴木孝昌

巻: Vol.69, No.10, pp. 1379-1382
号: 10
開始ページ: 1379
終了ページ: 1382
記述言語: 日本語
掲載種別
DOI: 10.2493/jjspe.69.1379
出版者・発行元: 公益社団法人精密工学会

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.2493/jjspe.69.1379
CiNii Articles: http://ci.nii.ac.jp/naid/110001373488
CiNii Books: http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN1003250X
URL: http://id.ndl.go.jp/bib/6722778
URL: https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00232407578?from=CiNii

ID情報

DOI : 10.2493/jjspe.69.1379
ISSN : 0912-0289
CiNii Articles ID : 110001373488
CiNii Books ID : AN1003250X

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