2005年
Displacement sensor by a sinusoidal phase-modulating laser diode interferometer using optical fibers
Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest
- ,
- ,
- 巻
- 2005
- 号
- 開始ページ
- 1695
- 終了ページ
- 1696
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）
- DOI
- 10.1109/CLEOPR.2005.1569858
A sensor using sinusoidal phase-modulation of 1.5MHz generated by modulating the injection current of a laser diode measures a phase of the interference signal with a measuring time of 0.25μs and an error less than 20nm in displacement.
- ID情報
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- DOI : 10.1109/CLEOPR.2005.1569858
- SCOPUS ID : 33847119505