2005年
Displacement sensor by a sinusoidal phase-modulating laser diode interferometer using optical fibers
2005 PACIFIC RIM CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS
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- 開始ページ
- 1014
- 終了ページ
- 1015
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）
- 出版者・発行元
- IEEE
A sensor using sinusoidal phase-modulation of 1.5MHz generated by modulating the injection current of a laser diode measures a phase of the interference signal with a measuring time of 0.25 mu s and an error less than 20nm in displacement.
- リンク情報
- ID情報
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- Web of Science ID : WOS:000236757900487