2006年4月 - 2009年3月
波長多重走査型半導体レーザ光源によるインプロセス形状計測システムの実現
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(C)
- 配分額
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- (総額)
- 3,300,000円
- (直接経費)
- 2,730,000円
- (間接経費)
- 570,000円
- 資金種別
- 競争的資金
半導体レーザと回折格子を組み合わせた光外部共振器型半導体レーザに超音波光偏向器を挿入し,機械的な駆動を伴うことなく静的に発振波長を走査できることを示すとともに,その特性を明らかにした。通常の半導体レーザを用いたシステムにおける波長走査幅は1ナノメートル程度,AR半導体レーザを用いて,2ナノメートル程度の波長走査を実現した。