MISC

査読有り

2004年

RFスパッタリングにより作製したフッ化カーボン膜の化学構造と機械的特性の評価

真空

山田良穂
岩森暁
高橋靖之

巻: 47
号: 7
開始ページ: 574
終了ページ: 580
DOI: 10.3131/jvsj.47.574

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.3131/jvsj.47.574
J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200902204837200934
CiNii Articles: http://ci.nii.ac.jp/naid/10013462837

ID情報

DOI : 10.3131/jvsj.47.574
ISSN : 1880-9413
ISSN : 0559-8516
J-Global ID : 200902204837200934
CiNii Articles ID : 10013462837

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