1997年
Nitrogen- and ammonia-plasma nitridation of hydrogenated amorphous silicon
Appl. Surf. Sci.
- 巻
- 113/114
- 号
- 開始ページ
- 610
- 終了ページ
- 613
- DOI
- 10.1016/S0169-4332(96)00783-0
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- ID情報
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- DOI : 10.1016/S0169-4332(96)00783-0
- ISSN : 0169-4332
- CiNii Articles ID : 80009641369