2014年9月 a-SiOx:H薄膜の欠陥評価 第75回応用物理学会秋季学術講演会 松井研人, 伊藤貴司, 片山竜一, 山川幸輝, 斉藤潤, 杉山秀一郎, Porponth Sichanugrist, 野々村修一, 小長井誠