1991年4月 - 現在
シリコン基板上へテロエピタシキャシャル成長及びデバイスへの応用
- 資金種別
- 競争的資金
（１）大口径Si基板上へのGaN系半導体結晶成長に関する研究
（２）GaN系LED及び紫外線（火災）センサーに関する研究
（３）大口径Si基板上AlGaN/GaN HEMTに関する研究
（４）新規半導体材料（GaN系以外）に関する研究
（２）GaN系LED及び紫外線（火災）センサーに関する研究
（３）大口径Si基板上AlGaN/GaN HEMTに関する研究
（４）新規半導体材料（GaN系以外）に関する研究