特許権 イオンビームを用いた炭素系多層薄膜の製造方法 国立大学法人京都大学 後藤 康仁, 辻 博司, 石川 順三 出願番号 特願2004-217885 出願日 2004年7月26日 公開番号 特開2006-037158 公開日 2006年2月9日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903094455557453 ID情報 J-Global ID : 200903094455557453