MISC

2009年

Application of silicon field emitter arrays for space-charge compensation of low energy ion beam

Technical Digest - 2009 22nd International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2009
  • M. Takeuchi
  • ,
  • S. Taguchi
  • ,
  • Y. Gotoh
  • ,
  • H. Tsuji
  • ,
  • J. Ishikawa
  • ,
  • S. Sakai

開始ページ
93
終了ページ
94
記述言語
英語
掲載種別
DOI
10.1109/IVNC.2009.5271847

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1109/IVNC.2009.5271847
ID情報
  • DOI : 10.1109/IVNC.2009.5271847
  • SCOPUS ID : 70449840087

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