MISC

1995年11月

ＲＦプラズマスパッタ型負重イオン源からの酸素及びフッ素負イオン引き出し特性

粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム
  • 富田哲生
    • ,
  • 辻 博司
    • ,
  • 豊田啓孝
    • ,
  • 後藤康仁
    • ,
  • 石川順三
巻
6th
号
開始ページ
191
終了ページ
194
記述言語
英語
掲載種別
研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）
リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200902184197458769
ID情報
  • J-Global ID : 200902184197458769
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