論文

査読有り
1994年

RF PLASMA SPUTTER-TYPE DC-MODE HEAVY NEGATIVE-ION SOURCE

PRODUCTION AND NEUTRALIZATION OF NEGATIVE IONS AND BEAMS
  • H TSUJI
  • ,
  • J ISHIKAWA
  • ,
  • Y GOTOH
  • ,
  • Y OKADA

287
開始ページ
530
終了ページ
539
記述言語
英語
掲載種別
研究論文(国際会議プロシーディングス)
出版者・発行元
AIP PRESS

リンク情報
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:A1994BA13W00048&DestApp=WOS_CPL
ID情報
  • ISSN : 0094-243X
  • Web of Science ID : WOS:A1994BA13W00048

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