1994年
RF PLASMA SPUTTER-TYPE DC-MODE HEAVY NEGATIVE-ION SOURCE
PRODUCTION AND NEUTRALIZATION OF NEGATIVE IONS AND BEAMS
- ,
- ,
- ,
- 巻
- 号
- 287
- 開始ページ
- 530
- 終了ページ
- 539
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文(国際会議プロシーディングス)
- 出版者・発行元
- AIP PRESS
- リンク情報
- ID情報
-
- ISSN : 0094-243X
- Web of Science ID : WOS:A1994BA13W00048