特許権 単結晶炭化ケイ素基板の表面平坦化方法、単結晶炭化ケイ素基板の製造方法、及び単結晶炭化ケイ素基板 金子忠昭, 西谷滋人 出願番号 特願2007-077256 出願日 特許番号/登録番号 特許5213095 登録日 発行日 2013年3月8日
