1996年
X-ray Diffraction Evidence for Crystalline SiO2 in Thermal Oxide Layer on Si Substrates
- 出版者・発行元
- Physics and Chemistry of SiO2 Interface 3(The Electrochemical Society)
梅野 正隆
ウメノ マサタカ (Masataka Umeno)
更新日: 2022/09/12