垣内 弘章

J-GLOBALへ         更新日: 11/08/25 00:00
 
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研究者氏名
垣内 弘章
 
カキウチ ヒロアキ
所属
大阪大学
部署
大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
職名
助教授
学位
修士(工学)(大阪大学), 博士(工学)(大阪大学)

研究分野

 
 

経歴

 
1991年
 - 
2001年
大阪大学 助手
 
2001年
   
 
- 大阪大学 助教授
 

学歴

 
 
 - 
1991年
大阪大学 工学研究科 精密工学専攻
 
 
 - 
1989年
大阪大学 工学部 精密工学科
 

受賞

 
1994年
1994年度精密工学会 関西支部講演論文賞
 

Misc

 
須崎 嘉文, 中村 茂昭, 垣内 弘章, 芳井 熊安, 川辺 秀昭
精密工学会誌   60(1) 138-142   1994年
須崎 嘉文, 鹿間 共一, 垣内 弘章, 芳井 熊安, 川辺 秀昭
精密工学会誌   60(3) 393-396   1994年
垣内 弘章, 川辺 秀昭, 芳井 熊安, 安武 潔, 竹内 昭博, 広瀬 喜久治, 森 勇藏
精密工学会誌   61(6) 829-833   1995年
広瀬 喜久治, 後藤 英和, 森 勇藏, 芳井 熊安, 安武 潔, 垣内 弘章, 坂本 正雄, 堤 建一
精密工学会誌   61(12) 1755-1759   1995年
垣内 弘章, 芳井 熊安, 安武 潔, 竹内 昭博, 広瀬 喜久治, 森 勇藏
精密工学会誌   63(2) 233-237   1997年

所属学協会

 
 

Works

 
原子論的生産技術の創出拠点
2004年
原子論的生産技術の創出拠点
2004年
グローバルCOE 高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点
2008年

競争的資金等の研究課題

 
機能薄膜の低温かつ高速成膜
その他の研究制度
プラズマの計測と制御
その他の研究制度