井上晴行 (Haruyuki Inoue) - マイポータル

基本情報

所属: 大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻助手

学位: 博士（工学）(大阪大学)

J-GLOBAL ID: 200901076082331780
researchmap会員ID: 1000030594

研究キーワード

研究分野

ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学 /

学歴

- 1971年

大阪工業大学, 工学部, 機械工学科
- 1971年

大阪工業大学

受賞

MISC

光ファイバの点光源回折球面波を計測の絶対基準とした位相シフト光干渉計の開発

押鐘寧, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 野口彰宏, 井上晴行, 中野元博

精密工学会誌 69(5) 678-682 2003年
レーザー光散乱法によるＳｉウエハ表面上の超微小欠陥計測

井上晴行, 片岡俊彦, 押鐘寧, 遠藤勝義, 森勇藏, 中野元博, 安弘, 里見慎哉, 和田勝男

精密工学会誌 68(10), 1337(10) 1337-1341 2002年
ナノパーティクル測定器によるシリコンウエハ面のナノ欠陥計測

佐々木都至, 安弘, 森勇藏, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 山内和人, 井上晴行

精密工学会誌 68(9) 1200-1205 2002年
レーザー光散乱法によるＳｉウエハ付着微粒子計測

井上晴行, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 押鐘寧, 森勇藏, 中野元博, 安弘, 竹村太一, 和田勝男

精密工学会誌 68(2), 264(2) 264-268 2002年
シリコンウエハ表面上の微粒子・微小欠陥による光散乱-散乱光強度およびレンズによる像形成の計算-

片岡俊彦, 井上晴行, 遠藤勝義, 押鐘寧, 森勇藏, 中野元博, 和田勝男, 安弘

精密工学会誌 66(11) 1716-1722 1999年
光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第5報)-Siウエハ表面に対する洗浄前後の微粒子測定による表面評価-

安弘, 佐々木都至, 森勇蔵, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 井上晴行, 山内和人, 谷口浩之

精密工学会誌 65(10) 1435-1439 1999年
Measurement of Ultra Fine Particles on the Si Wafer Surface Using Laser Light Scattering

Proceedings of the 9th International Conference on Production Engineering 378 1999年
Light Scattering by Small Particles and Small Defects on the Silicon Wafer Surface-Calculations of Scattering Light Intensity and Optical Image through a Lens-

Toshihiko KATAOKA, Haruyuki INOUE, Katsuyoshi ENDO, Yasushi OSHIKANE, Yuzo MORI, Motohiro NAKANO, Katsuo WADA, Hiroshi AN

Journal of the Japan Society for Precision Engineering 66(11) 1716-1722 1999年
Designing a New Apparatus for Measuring Particle Sizer of Nanometer Order by Light-Scattering(5th Report)-Evaluation of the Surface by Measuring Particles on a Si Wafer before and after Cleaning-

Hiroshi AN, Satoshi SASAKI, Yuzo MORI, Toshiyuki KATAOKA, Katsuyoshi ENDO, Haruyuki INOUE, Kazuto YAMAUCHI, Hiroyuki TANIGUCHI

Journal of the Japan Society for Precision Engineering 65(10) 1435-1439 1999年
STM/STS and the first principles calculations on Al/Si(001)2×1

Appl. Phys. A66 S145 1998年
レーザ光散乱法によるSiウエハ付着微粒子計測装置の開発

井上晴行, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 押鐘寧, 森勇藏, 杉山和久, 安弘, 井山章吾

精密工学会誌 63(8) 1117-1121 1997年
Growth of Crystalline Silion on a Cryogenic Substrate by Photochemical Reaction in a Condensed Phase

Toshihiko Kataoka, Katsuyoshi Endo, Masayoshi Ashida, Hiroyuki Orita, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Yuzo Mori

Jpn. J. Appl. Phys 36(12A) 7395-7398 1997年
レーザ光散乱法によるSiウエハ付着微粒子計測装置の開発

井上晴行, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 押鐘寧, 森勇藏, 杉山和久, 安弘, 井山章吾

精密工学会誌 63(8) 1117-1121 1997年
光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第4報)-光電子増倍管出力特性の定式化とダイナミックレンジの改善法-

安弘, 森勇藏, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 山内和人, 稲垣耕司, 山村和也, 井上晴行, 佐野泰久

精密工学会誌 62(8) 1198-1202 1996年
Disigning a New Apparatus for Measuring Particle Sizes of Nanometer Order by Light-Scattering(4th Report)-Formulation for Output characteristics of Photomultiplier and Improvement of Pynamic Range-

Hiroshi AN, Yuzo MORI, Toshihiko KATAOKA, Katsuyoshi ENDO, Kazuto YAMAUCHI, Kohji INAGAKI, Kazuya YAMAMURA, Haruyuki INOUE, Yasuhisa SANO

Journal of the Japan Society for Precision Engineering 62(8) 1198-1202 1996年
球状微小突起をプローブとした走査型近接場光学顕微鏡の開発

片岡俊彦, 遠藤勝義, 井上晴行, 稲垣耕司, 森勇藏, 広瀬喜久治, 高田和政

精密工学会誌 60(8) 1122-1126 1994年
球状微小突起をプローブとした走査型近接場光学顕微鏡の開発

片岡俊彦, 遠藤勝義, 井上晴行, 稲垣耕司, 森勇藏, 広瀬喜久治, 高田和政

精密工学会誌 60(8) 1122-1126 1994年
極低温用伸び計の開発

片岡俊彦, 井上晴行, 山本純也

低温工学 23(3) 134-139 1988年
Development of Extensometer for Use at Cryogenic Temperatures

23(3) 1988年
Anomalous Enhancement of Photoacoustic Signal in Metal-Film/Metal-Foil System

Jpn. J. Appl. Phys. 22(6) 1983年

井上晴行

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