MISC

査読有り
2000年1月

有機ケイ素イオンビームを用いたSiCの低温結晶成長

J. Vac. Soc. Jpn.
  • 木内正人
    • ,
  • 松谷貴臣
    • ,
  • 竹内孝江
    • ,
  • 松本貴士
    • ,
  • 美本和彦
    • ,
  • 後藤誠一
巻
43
号
3
開始ページ
278
終了ページ
278
記述言語
日本語
掲載種別
エクスポート
BibTeX RIS
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