特許権 パイ接合SQUID、及び超伝導接合構造の製造方法 前野 悦輝, 寺嶋 孝仁 出願番号 特願211-518329 出願日 2010年3月2日 特許番号/登録番号 特許5574299 登録日 発行日 2014年7月11日