表1は本論文の実験結果をまとめたものである.表中の○印,×印は,それぞれ測定可能,測定不能の場合を示している.測定可能例は,変位,位置,傾きの順に少なくなっている.これを増すためには,光学系の構成,電子回路の改良が必要であると思われる.<BR>変位測定の標準偏差σは,変位0μm位置での10回の測定出力電圧の標準偏差を,測定面変位に換算した値である.測定面位置合わせのばらつき,変位読取り用電気マイクロメータの誤差も含まれるが,主として受光素子から出力回路までのゆらぎによる出力電圧の変動が,測定値のばらつきの原因と思われる.一般的にσは粗面,旋削面,研削面の順に大きい.これは,研削面のように受光素子への入射光量が少ない場合'受光素子出力電圧が減少し,相対的に回路によるゆらぎ成分が大きくなるためと考えられる.ただし,σの数値0.02～0.7μmは実用的には十分な値と思われる.<BR>変位測定の線形範囲の数値は,受光素子と光線の交差角θにより決まり,測定面の性状にはよらない.受光素子としては,QPDよりもPSDが広い線形範囲があり,変位測定には適している.しかし,線形性を考えなくてよい位置測定にはQPDで十分対応できている.