柳 和久

輪郭形状測定のための光触針式変位センサの開発 

日本機械学会論文集C 70, 694, 1737-1742 2004年

光触針式輪郭測定器の性能向上を目的としたスペックル誤差補正システム 

精密工学会誌 70, 5, 716-720 2004年

A Practical Method of Determining Orthogonal Distances for Flatness Deviation Measurement Using on Electric Capacitance Displacement Sensor 

Proc. of ASPE 19th Annual Meeting 29, 410-413 2004年

A new approach to areal segmentation of surface topography data and incorporation into significant feature area based on watershed property 

Proc. of 8th Int. Symposium on Measurement and Quality Control in Production 775-782 2004年

Development of an Optical Stylus Displacement Sensor for Surface Profiling Measurement 

Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers 70, 694, 1737-1742 2004年

第2節 表面粗さの超精密計測・制御事例 

超精密生産技術体系,第3巻,計測・制御技術  1995年 

An assessment of tribological surface function through quantitative characterization of surface topography 

Trans. Mat. Res. Soc. Jpn. (Advanced Materials '93)  1994年 

An optical measurement system for evaluating the three orthogonal thermal displacements of a machine tool spindle in operation 

Advancement of Intelligent Production, Elsevier Science B.V./ Japan Society for Precision Engineering  1994年 

Surface Texture Assessment of Magnetic Rigid Disk and Head Slider for Analyzing Their Contact Mechanics in Nanometer Scale, 

International Progress in Precision Engineering, Butterworth Heinemann,  1993年 

機械系エンジニアのための自動計測技術入門 

近代図書(株)  1986年 

レーザーによる微細表面構造実量器の製作と加工条件の定量化 

2004年

変形解析と表面工学に基づいたハンマー鍛造プロセスの改善 

2001年 - 2003年

高度情報機械システムの次世代技術に関する研究 

2000年 - 2003年

データム平面を内蔵する高精度表面形状測定機の実用化研究事業 

2002年

マグネシウム成形品の表面欠陥検査法の研究開発 

2002年

標準表面性状実量器の製作システム開発 

光触針の横方向走査による表面輪郭形状測定 

平面データムを内蔵する高精度表面凹凸形状測定機の開発 

湿式ブラスト加工面の幾何学的キャラクタリゼーションと加工条件との相関解析 

工業表面の反射光特性におよぼす三次元表面凹凸形状の影響 

広領域走査型プローブ顕微鏡 

円筒物の形状測定装置及び測定方法 

3次元表面形状測定装置および3次元表面形状測定方法(050426),(050427) 

運動テーブル制御方法およびその装置,並びに3次元表面形状測定方法およびその装置(050425)