2024年 CH4濃度変調プラズマを用いたナノ結晶ダイヤモンド膜の合成 砥粒加工学会誌 大西亮多, 田中一平, 川口夏樹, 原田泰典 巻 68 号 7 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=202402263964463346 ID情報 ISSN : 0914-2703J-Global ID : 202402263964463346 エクスポート BibTeX RIS
