論文

査読有り
2024年11月

Effect of source gas on mechanical property of amorphous carbon nitride films by Microwave-sheath Voltage combination Plasma

Proceedings of the 14th Asia-Pacific Conference on Fracture and Strength (APCFS 2024)
  • Ippei Tanaka
  • ,
  • Masahiro Ohira
  • ,
  • Yasunori Harada

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