2020年1月 2019年度電気学会優秀論文発表賞B賞 一般社団法人 電気学会東海支部 杉江侑哉,針谷達,戸谷陽文,滝川浩史,神谷雅男 タイトル EB 蒸着源を備えたフィルタードパルスアーク蒸着装置によるSi-DLC 膜の形成
