特許権 DLC膜の製造方法 豊橋技術科学大学,伊藤光学工業,オンワード技研 滝川浩史, 田上英人, 神谷雅男, 加藤裕久, 瀧真, 長谷川祐史 出願番号 特願2013-229270 出願日 2013年 公開番号 特開2014-062326 公開日 公表番号 特開2014-062326 公表日 特許番号/登録番号 第5669117号 登録日 発行日