論文

査読有り

2019年4月

Self-supporting tetrahedral amorphous carbon films consisting of multilayered structure prepared using filtered arc deposition

Thin Solid Films

T. Harigai
Y. Miyamoto
M. Yamano
T. Tanimoto
Y. Suda
H. Takikawa
T. Kawano
M. Nishiuchi
H. Sakaki
K. Kondo
S. Kaneko
S. Kunitsugu

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巻: 675
号
開始ページ: 123
終了ページ: 127
記述言語: 英語
掲載種別: 研究論文（学術雑誌）
DOI: 10.1016/j.tsf.2019.02.022

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2019.02.022

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DOI : 10.1016/j.tsf.2019.02.022

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